Na področju izdelave polprevodnika ali prikazovalnika tekočih kristalov se je integracija naprav v zadnjih letih povečala. Pri izdelavi naprave, imenovane zelo obsežno integrirano vezje, je potreben fin vzorec 1 mikron ali manj. V takšnem proizvodnem postopku se drobni prah ali zelo majhna količina plinskih nečistoče odlaga ali adsorbuje po vzorcu ožičevanja, kar povzroči okvaro vezja. Zato je treba v teh plinih obstajati tako reakcijski plin kot nosilni plin z visoko čistostjo, torej le nekaj delcev in plinskih nečistoč. Zato je potrebno, da kapilarna cev iz nerjavečega jekla ali član uporablja tak plin z visoko čistostjo, njegova notranja površina pa se uporablja kot onesnaževalo za oddajanje onesnaževal, z le minimalno količino delcev in plina. Poleg inertnih plinov, kot sta dušik in argon, se kot plini za proizvodnjo polprevodniki uporabljajo tudi številni plini, imenovani specialni plini. Primeri posebnih plinov vključujejo jedke pline, kot so klor, vodikov klorid in vodikov bromid ter kemično neusmiljene pline, kot je silaža. Za prvo je potrebna odpornost na plinsko korozijo, pri slednjem pa nekatolitično delovanje.
Za zmanjšanje usedanja ali adsorpcije prahu ali vode je bila do sedaj notranja površina dela, ki se uporablja za proizvodnjo polprevodničnih plinov, gladka, dokler njegova Rmax površinska hrapavost ni 1 mikron ali manj. Hladno risanje, mehansko poliranje, kemično poliranje, poliranje ali kombinacija tega lahko uporabimo kot metodo za glajenje notranje površine ali delov cevi. Zelo gladek material z vrednostjo 1 mikron ali manj pa se pridobiva predvsem z elektrolitičnim poliranjem. Notranja površina cevi ali podobno se zgladi, nato očistimo z vodo visoke čistosti in posušimo s plinom visoke čistosti, da dobimo končni izdelek.
Varjenje se običajno uporablja pri varjenju. To je zato, ker varjenje lahko zagotovi visoko trdnost in dobro zračno tesnost cevovoda. Pri polaganju plinovodov se kot zaščitni plin uporablja inertiven plin visoke čistosti, običajno argon, njegova notranja površina pa se stika s plinom visoke čistosti skozi cevovod, da bi se izognili ogrevanju dela onesnaževanja in oksidacije do čim višjih temperatur. Poleg tega se pri polaganju cevovoda cevovod čisti z visoko čistostjo argona ali dušika, da se odstranijo ti delci in še vedno ostanejo v cevi. Ko je plinovod dolg in zapleten, kot je na primer plinovod, traja nekaj dni do več tednov. V zadnjem času je bilo močno zahtevano zmanjšanje stroškov pri gradnji polprevodnega proizvodnega obrata in zgodnje obratovanje obrata. Da bi izpolnili te zahteve, je zdaj potrebno skrajšati čas čiščenja.
Poleg zgoraj navedenih lastnosti morajo imeti člani cevi in plina visoke čistosti možnost varjenja, skupno območje, ki je potrebno za mehanske tesnjenje, in odpornost na nošnje; pri strojeh delov, kot so sklepi, je potrebna machovska šibkost. Po drugi strani pa je znano, da je mogoče posebne pline z odpornostjo na korozijo in nekatolitičnimi lastnostmi, ki so potrebni za proizvodnjo polprevodnih cevi ali podobnih plinov, izboljšati z ogrevanjem površine nerjavečega jekla na tak način V takšnem ozračju je delni tlak kisika nadzorovan. Omeniti je treba, da je objektivna snov plinovoda v tej literaturi opisana kot SUS 316L iz nerjavečega jekla.
Zgoraj omenjena zahtevana odpornost na korozijo in nekatalitska zmogljivost niso samo za plinovode. Enako povpraševanje je tudi iz nerjavečega jekla, ki se uporablja v različnih opremah za proizvodnjo polprevodniki, eden od teh ima fino predelavo reti. Avstenitično nerjaveče jeklo, še posebej, SUS 316L tip se uporablja predvsem kot material za cevi in druge člane opreme. Japonska kokai patentna publikacija št. 161145/1988 razkrinka nestandarden visokočist avstenitično nerjaveče jeklo iz jeklenih cevi, ki se uporablja v čistih sobah. Nekovinske inkluzije omejujejo zmanjšanje vsebnosti mangana, silicija, aluminija in kisika, s čimer se zmanjša nastajanje delcev z notranje površine cevovoda.
Poleg tega je Japonska objavila patentno publikacijo št. 198463, 1989/, ki razklja član iz nerjavečega jekla za opremo za proizvodnjo polprevodniki. Ti člani oksidizirajo plin po elektrokemični poliranju iz nerjavečega jekla. Pod določenimi pogoji se na tej plasti oblikuje oksidna plast z debelino od 100 do 500 angstromov in se se greje tako, da je število Ni atomov v